|
靜(jing)電吸(xi)盤測試(shi)臺 一 基本功能： 靜(jing)(jing)電吸盤的吸附原(yuan)理(li)主要基于靜(jing)(jing)電吸附。在沒有等離(li)子體的(de)環境(jing)下，當直(zhi)流(liu)(liu)電(dian)極接通(tong)到(dao)高壓（低流(liu)(liu)）直(zhi)流(liu)(liu)電(dian)源后，電(dian)介質(zhi)的(de)表面會(hui)產生極化電(dian)荷。對于庫侖吸(xi)盤(pan)（吸盤(pan)不同種類中的一種）而言，這(zhe)會導(dao)(dao)致電(dian)(dian)介質(zhi)表(biao)面出現(xian)極化(hua)電(dian)(dian)荷(he)(he)。而對(dui)于JR吸(xi)(xi)(xi)盤(pan)，除了極化(hua)電(dian)(dian)荷(he)(he)外，還有一(yi)部(bu)分(fen)(fen)(fen)自由電(dian)(dian)荷(he)(he)，因為這(zhe)類吸(xi)(xi)(xi)盤(pan)的(de)(de)(de)電(dian)(dian)介質(zhi)具有一(yi)定的(de)(de)(de)導(dao)(dao)電(dian)(dian)性。這(zhe)些表(biao)面電(dian)(dian)荷(he)(he)會產生(sheng)電(dian)(dian)場，該電(dian)(dian)場進一(yi)步在置于吸(xi)(xi)(xi)盤(pan)之上(shang)的(de)(de)(de)晶(jing)片(pian)表(biao)面產生(sheng)極化(hua)電(dian)(dian)荷(he)(he)，這(zhe)些電(dian)(dian)荷(he)(he)的(de)(de)(de)分(fen)(fen)(fen)布(bu)與(yu)吸(xi)(xi)(xi)盤(pan)上(shang)的(de)(de)(de)電(dian)(dian)荷(he)(he)極性相反(fan)。當晶(jing)片(pian)背面分(fen)(fen)(fen)布(bu)的(de)(de)(de)電(dian)(dian)荷(he)(he)與(yu)吸(xi)(xi)(xi)盤(pan)上(shang)相反(fan)時，晶(jing)片(pian)就被吸(xi)(xi)(xi)盤(pan)吸(xi)(xi)(xi)附(fu)住了。靜(jing)電(dian)(dian)吸(xi)(xi)(xi)盤(pan)通過施加(jia)外部(bu)高(gao)壓，利用靜(jing)電(dian)(dian)吸(xi)(xi)(xi)附(fu)力或(huo)J-R吸(xi)(xi)(xi)附(fu)力來固定硅(gui)片(pian)。這(zhe)種吸(xi)(xi)(xi)附(fu)力使得硅(gui)片(pian)能夠(gou)被穩定地固定在吸(xi)(xi)(xi)盤(pan)上(shang)，以滿足半(ban)導(dao)(dao)體制造等領域的(de)(de)(de)應用需求。 為了(le)保證晶圓不與吸盤接觸， 吸盤表(biao)面(mian)均布(bu)氦氣孔， 用于生產(chan)氣墊拖住(zhu)晶圓 ， 使之與電極產(chan)生的吸力平衡 二 測(ce)試(shi)原理： 靜電吸盤測(ce)試臺配置不同規格晶圓尺寸的被動吸盤， 吸盤背面預留對應出氣孔位置的氣體接口， 每個接口用于連接對應的壓力和流量傳感器， 最多預留16路接口， 16路的壓力和流量對應顯示在計算機上， 被(bei)動吸盤整體與測力(li)(li)傳感器連(lian)接， 當靜(jing)電吸盤工作時， 可以測試不(bu)同(tong)電壓(ya)下和不(bu)同(tong)的(de)(de)(de)氣體流量壓(ya)力(li)(li)時 ， 實時對外輸(shu)出的(de)(de)(de)力(li)(li)， 可以校(xiao)正(zheng)不(bu)同(tong)電壓(ya)時，對應不(bu)同(tong)的(de)(de)(de)氣體流量，分別輸(shu)出的(de)(de)(de)實際吸力(li)(li)，并且實時顯示每一路氣體的(de)(de)(de)壓(ya)力(li)(li)流量， 用于校(xiao)正(zheng)晶圓(yuan)整體受力(li)(li)是否均(jun)勻。 
三 靜電吸盤測試臺基本參數 1. 最大吸附(fu)力：500N 2. 力值精度：±0.5% 3. 適配(pei)晶圓規(gui)格：10/8/5寸 4. 傳感器壓力范圍(wei)：0.1-50torr 5. 傳感器流量(liang)范圍：0.1-500sccm 6. 傳感器精度：±1% 7. 傳(chuan)感器供電：24V 8. 系統耐壓等級：1000V 9. 外形尺寸(cun)：1200*950*1650 10. 整機功率(lv)：2kw 11. 整機重量(liang)：260kg 四 靜電吸盤測試臺基本配置： 1. 鋁合金臺(tai)架(jia) 一套 2. 大理(li)石臺面 一套 3. 垂向移動滑(hua)臺 一(yi)套(tao) 4. 吸盤安裝座 ; 一(yi)套 5. 被動吸盤 一套 6. 氣體轉接(jie)板 一套(tao) 7. 壓力(li)傳(chuan)感器 16支 8. 流量傳感器 16支 9. 通訊轉換器 1臺（35路） 10. 計算機及(ji)軟件 一(yi)套 11. 隨機工具 一套 12. 防(fang)靜電腳墊 若干 13. 防靜(jing)電手環(huan) 2副 標(biao)簽：靜電吸(xi)盤(pan)測試臺
|
